掃描電子顯微鏡(SEM)是一種利用電子束掃描樣品表面并通過檢測由樣品散射或發射的電子信號來獲取樣品圖像的高分辨率顯微鏡。鎢燈絲掃描電子顯微鏡是掃描電子顯微鏡的一種,其中的鎢燈絲作為電子槍的電子源。鎢燈絲因其優異的物理特性和穩定性,在許多電子顯微鏡中作為電子源被廣泛應用。一、技術原理鎢燈絲掃描電子顯微鏡的基本原理是,通過加熱鎢燈絲產生電子,利用電場加速這些電子至高能態后,聚焦成細小的電子束,通過掃描方式照射到樣品表面。樣品表面的原子會與電子束發生相互作用,產生多種信號,包括二次...
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掃描電子顯微鏡(SEM)是一種利用電子束掃描樣品表面并通過檢測由樣品散射或發射的電子信號來獲取樣品圖像的高分辨率顯微鏡。鎢燈絲掃描電子顯微鏡是掃描電子顯微鏡的一種,其中的鎢燈絲作為電子槍的電子源。鎢燈絲因其優異的物理特性和穩定性,在許多電子顯微鏡中作為電子源被廣泛應用。一、技術原理鎢燈絲掃描電子顯微鏡的基本原理是,通過加熱鎢燈絲產生電子,利用電場加速這些電子至高能態后,聚焦成細小的電子束,通過掃描方式照射到樣品表面。樣品表面的原子會與電子束發生相互作用,產生多種信號,包括二次...
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場發射掃描電子顯微鏡在半導體產業中具有廣泛的應用。隨著半導體制造工藝的不斷精細化和小型化,憑借其高分辨率、優異的成像能力和精確的微觀分析性能,在半導體行業中的重要性不斷提升。下面將從場發射掃描電子顯微鏡在半導體產業中的應用幾個方面進行詳細分析。一、半導體微結構分析半導體行業中的晶體管、集成電路(IC)、存儲器等器件結構在納米尺度上不斷縮小,傳統的顯微鏡無法滿足其高分辨率的要求。憑借其優異的分辨率,可以有效地觀察到這些微結構中的細節。二、缺陷檢測與故障分析在半導體制造過程中,微...
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鎢燈絲低真空掃描電鏡是一種結合了掃描電子顯微鏡(SEM)技術和低真空環境特點的高精度分析工具。它通過利用鎢燈絲作為電子源,能夠在低真空或常規氣氛下對樣品進行表面形貌和微觀結構的分析,廣泛應用于材料科學、電子學、生命科學等多個領域。鎢燈絲低真空掃描電鏡主要由電子槍、掃描系統、探測器、樣品室和真空系統等部分組成。具體構成如下:1、電子槍鎢燈絲作為電子槍的發射源,利用其高熔點、穩定性和優良的電子發射特性,生成電子束。鎢燈絲在加熱后會產生自由電子,形成高能電子流。在傳統的掃描電鏡中,...
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場發射掃描電鏡是一種高分辨率的顯微鏡,廣泛應用于納米科技的研究與發展。與傳統的掃描電鏡(SEM)相比,它采用場發射電子槍作為電子源,提供了更高的電子束亮度和更細的束斑,能夠實現更高分辨率的成像。場發射掃描電鏡在納米科技中的重要性,主要體現在以下幾個方面:一、高分辨率成像能力最大的優勢之一是其高分辨率。由于使用了場發射電子槍,能夠產生更加集中的電子束,因此分辨率可以達到1納米以下。它能夠幫助科研人員觀察和分析納米尺度的細節,如納米顆粒的形貌、尺寸分布、晶體缺陷等,進而深入了解材...
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小型離子濺射儀(IonSputteringSystem)是一種常用于材料表面處理的設備,廣泛應用于薄膜沉積、表面分析、鍍膜等領域。離子濺射儀的工作原理是利用高能離子轟擊靶材,使靶材原子脫離并沉積到其他物體表面。隨著使用時間的增加,設備可能會出現故障,導致其性能下降。以下是一些常見的維修方法和處理步驟:1.常見故障及原因分析電源問題現象:離子源或濺射靶不工作,設備無反應。可能原因:電源電壓不穩定、電源損壞、內部電路連接松動。濺射靶材表面損壞或不均勻現象:濺射膜層厚度不均、膜層質...
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鎢燈絲掃描電子顯微鏡是一種利用電子束掃描樣品表面并通過探測二次電子、反射電子等信號來獲得樣品表面形貌、成分等信息的強大工具。鎢燈絲在該設備中通常作為電子源,起到發射電子的作用。鎢燈絲掃描電子顯微鏡的基本工作原理可以分為以下幾個步驟:1、電子源的產生:鎢燈絲通常作為電子槍的電子源。鎢具有較高的熔點和較低的工作溫度,因此常常被用作電子源材料。鎢燈絲加熱后,會因熱激發而釋放出電子,這些電子被加速到高能狀態,形成電子束。2、電子束加速:生成的電子在電場的作用下被加速,通常加速電壓為幾...
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